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发明名称
SPUTTERING SYSTEM
摘要
申请公布号
JPH09316635(A)
申请公布日期
1997.12.09
申请号
JP19960255181
申请日期
1996.09.26
申请人
SAMSUNG ELECTRON CO LTD
发明人
BOKU EIKEI;IKE YONKOU
分类号
C23C14/35;H01L21/203;H01L21/285;(IPC1-7):C23C14/35
主分类号
C23C14/35
代理机构
代理人
主权项
地址
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