发明名称 SEALING STRUCTURE AND SPIN TREATING DEVICE FOR WHICH THIS SEALING STRUCTURE IS USED
摘要
申请公布号 JPH09314023(A) 申请公布日期 1997.12.09
申请号 JP19960135148 申请日期 1996.05.29
申请人 SHIBAURA ENG WORKS CO LTD 发明人 HIROSE HARUMICHI
分类号 F16J15/40;B05C11/08;H01L21/304;(IPC1-7):B05C11/08 主分类号 F16J15/40
代理机构 代理人
主权项
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