,申请号JP19960524789-传众专利搜索

发明名称
摘要
申请公布号	JPH09512390(A)	申请公布日期	1997.12.09
申请号	JP19960524789	申请日期	1996.01.29
申请人		发明人
分类号	C23C14/34;C23C14/16;C23C14/18;C23C14/54;H01L21/28;H01L21/283;H01L21/285;H01L21/3205;H01L23/52;H01L29/45;(IPC1-7):H01L21/285;H01L21/320	主分类号	C23C14/34
代理机构		代理人
主权项
地址

您可能感兴趣的专利