| 发明名称 |
COMPOSITION FOR FORMING POSITIVE METAL SULFIDE THIN FILM PATTERN AND METHOD FOR FORMING POSITIVE METAL SULFIDE THIN FILM PATTERN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09316652(A) |
申请公布日期 |
1997.12.09 |
| 申请号 |
JP19960127226 |
申请日期 |
1996.05.22 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS CORP |
发明人 |
SOYAMA NOBUYUKI;YONEZAWA MASA;OGI KATSUMI |
| 分类号 |
C23C20/08;C23C26/00;(IPC1-7):C23C20/08 |
主分类号 |
C23C20/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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