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发明名称 VACUUM CHAMBER
摘要
申请公布号 JPH09313920(A) 申请公布日期 1997.12.09
申请号 JP19960162402 申请日期 1996.06.03
申请人 EBARA CORP 发明人 NOMICHI SHINJI;SHINODA NOBUHARU
分类号 F04B37/20;B01D8/00;B01J3/02;(IPC1-7):B01J3/02 主分类号 F04B37/20
代理机构 代理人
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