| 发明名称 |
ETCHING WORKING METHOD AND ETCHING WORKING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09316668(A) |
申请公布日期 |
1997.12.09 |
| 申请号 |
JP19960161182 |
申请日期 |
1996.05.31 |
| 申请人 |
MITSUI HIGH TEC INC |
发明人 |
NAGAI AKIRA;TAKANO MASAO;MATSUO KATSUYA |
| 分类号 |
C23F1/00;H01L23/50;(IPC1-7):C23F1/00 |
主分类号 |
C23F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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