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发明名称 WIRE SAW
摘要
申请公布号 JPH09314547(A) 申请公布日期 1997.12.09
申请号 JP19960141480 申请日期 1996.06.04
申请人 TOKYO SEIMITSU CO LTD 发明人 SHIBAOKA SHINJI;TSUCHISHIMA JIRO;NAGATSUKA MASASHI
分类号 B28D5/04;H01L21/304;(IPC1-7):B28D5/04 主分类号 B28D5/04
代理机构 代理人
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