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发明名称
摘要
申请公布号 JP2687742(B2) 申请公布日期 1997.12.08
申请号 JP19910035460 申请日期 1991.02.04
申请人 发明人
分类号 G01N21/00;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01N21/00
代理机构 代理人
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