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发明名称
摘要
申请公布号
JP2687653(B2)
申请公布日期
1997.12.08
申请号
JP19900047586
申请日期
1990.02.28
申请人
发明人
分类号
H01L27/04;G05F3/24;H01L21/822;(IPC1-7):G05F3/24
主分类号
H01L27/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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