| 发明名称 |
DRY ETCHING PROCESS AND APPARATUS THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09309800(A) |
申请公布日期 |
1997.12.02 |
| 申请号 |
JP19960129541 |
申请日期 |
1996.05.24 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
IWAI TETSUHIRO |
| 分类号 |
C30B33/12;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C30B33/12;H01L21/306 |
主分类号 |
C30B33/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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