发明名称 FORMATION OF SPIN-ON-GLASS(SOG) FILM OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH09312289(A) 申请公布日期 1997.12.02
申请号 JP19960359862 申请日期 1996.12.27
申请人 GENDAI DENSHI SANGYO KK 发明人 KIN MINSAI
分类号 H01L21/768;H01L21/316;H01L21/786;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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