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发明名称 BUMP FORMING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH09312294(A) 申请公布日期 1997.12.02
申请号 JP19960127071 申请日期 1996.05.22
申请人 ADVANTEST CORP 发明人 TAKEUCHI HIROAKI;ARIKAWA YUTAKA
分类号 H01L21/60;H05K3/34;(IPC1-7):H01L21/321 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
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