| 发明名称 |
DETECTING NOISE IN PATTERN FORMING APPARATUS, NOISE DETECTING MARK, AND METHOD AND APPARATUS FOR FORMING PATTERN HAVING THEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09312246(A) |
申请公布日期 |
1997.12.02 |
| 申请号 |
JP19960108014 |
申请日期 |
1996.04.26 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
SAKURAI HIDEAKI;ABE TAKAYUKI;UMAGOE TOSHIYUKI;SUNAOSHI HITOSHI;MUROOKA KENICHI;OGASAWARA MUNEHIRO;NISHIMURA CHIKASUKE;FUKUTOME YUJI;NAKAYAMADA KENSHO;TOKAWA IWAO |
| 分类号 |
G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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