发明名称 |
LIQUID MIXTURE OF FLUORESCENT MATERIAL AND METHOD AND DEVICE FOR MEASURING THICKNESS OF FILM |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH09311019(A) |
申请公布日期 |
1997.12.02 |
申请号 |
JP19960151721 |
申请日期 |
1996.05.22 |
申请人 |
TOYOTA CENTRAL RES & DEV LAB INC |
发明人 |
MITA SHUZO;INAGAKI HIDETO |
分类号 |
G01K11/20;G01B11/06;(IPC1-7):G01B11/06 |
主分类号 |
G01K11/20 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|