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发明名称 MOVABLE CARRIAGE APPARATUS FOR TESTING OR MACHINING TAB FILM CARRIERS
摘要
申请公布号 JPH09312311(A) 申请公布日期 1997.12.02
申请号 JP19960163566 申请日期 1996.05.21
申请人 SUDOU KIKAI KOGYO KK 发明人 SUDO KIYOYUKI
分类号 G01R31/26;G01R31/00;H01L21/60;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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