发明名称 |
WAFER HOLDING ELECTRODE UNIT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH09312281(A) |
申请公布日期 |
1997.12.02 |
申请号 |
JP19960126621 |
申请日期 |
1996.05.22 |
申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
SHIROSAKI TOMOHIDE;TAKATSU MEGUMI |
分类号 |
C23C14/34;C23C16/44;C23C16/458;C23C16/50;C23F4/00;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
C23C14/34 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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