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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH09312291(A) 申请公布日期 1997.12.02
申请号 JP19960125758 申请日期 1996.05.21
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KUNISHIMA IWAO
分类号 H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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