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发明名称
METHOD OF FORMING INTERELEMENT ISOLATION REGION
摘要
申请公布号
JPH09312330(A)
申请公布日期
1997.12.02
申请号
JP19960125985
申请日期
1996.05.21
申请人
OKI ELECTRIC IND CO LTD
发明人
NAGATOMO YOSHIKI
分类号
H01L21/76;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
地址
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