| 发明名称 |
METHOD FOR PRODUCING SEMICONDUCTING SINGLE CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09309791(A) |
申请公布日期 |
1997.12.02 |
| 申请号 |
JP19960150288 |
申请日期 |
1996.05.22 |
| 申请人 |
KOMATSU ELECTRON METALS CO LTD |
发明人 |
SAISHOJI TOSHIAKI;IIDA AKIHIRO;KUBOTA TOSHIMICHI;NAKAMURA KOZO;TOMIOKA JUNSUKE |
| 分类号 |
C30B15/20;C30B15/00;C30B15/22;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/20 |
主分类号 |
C30B15/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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