| 发明名称 |
PRESSURE REDUCING TYPE VERTICAL CHEMICAL VAPOR DEPOSITION DEVICE AND CHEMICAL VAPOR DEPOSITION METHOD |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09310179(A) |
申请公布日期 |
1997.12.02 |
| 申请号 |
JP19960124578 |
申请日期 |
1996.05.20 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS CORP |
发明人 |
OKADA GIICHI |
| 分类号 |
B23B27/14;C23C16/44;C23C16/455;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
B23B27/14 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
