| 发明名称 |
DISPERSED GRAIN OXIDE THIN FILM CONTAINING RARE EARTH ELEMENT AND ITS PRODUCTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09310169(A) |
申请公布日期 |
1997.12.02 |
| 申请号 |
JP19960148246 |
申请日期 |
1996.05.17 |
| 申请人 |
NATL INST FOR RES IN INORG MATER |
发明人 |
ADACHI YUTAKA;TAKAHASHI KOICHIRO;SUZUKI HIROYUKI |
| 分类号 |
C01G1/00;C23C14/08;C23C14/34;C30B29/22;H01L39/00;(IPC1-7):C23C14/08 |
主分类号 |
C01G1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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