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发明名称 PROBE UNIT AND HEAD FOR INSPECTION
摘要
申请公布号 JPH09304438(A) 申请公布日期 1997.11.28
申请号 JP19960144867 申请日期 1996.05.16
申请人 NIPPON MAIKURONIKUSU:KK 发明人 NAKAMURA NORIYUKI
分类号 G01R31/26;G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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