发明名称 PLASMA ION SOURCE MASS ANALYZER
摘要
申请公布号 JPH09306418(A) 申请公布日期 1997.11.28
申请号 JP19960120627 申请日期 1996.05.15
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 NAKAGAWA YOSHITOMO
分类号 G01N27/62;H01J49/04;H01J49/06;H01J49/10;H01J49/12;H01J49/42;(IPC1-7):H01J49/04 主分类号 G01N27/62
代理机构 代理人
主权项
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