发明名称 METHOD AND DEVICE FOR WORKING BY FOCUSED CHARGED PARTICLE BEAM
摘要
申请公布号 JPH09306412(A) 申请公布日期 1997.11.28
申请号 JP19960116747 申请日期 1996.05.10
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 SUGIYAMA YASUHIKO
分类号 H01J37/147;H01J37/302;(IPC1-7):H01J37/302 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
主权项
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