| 发明名称 |
CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE AND ITS WASHING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09306803(A) |
申请公布日期 |
1997.11.28 |
| 申请号 |
JP19960116386 |
申请日期 |
1996.05.10 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
OGASAWARA MUNEHIRO;OTOSHI KENJI;YOSHITAKE HIDESUKE;TAKIGAWA TADAHIRO |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/027;H01L21/304;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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