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发明名称 ILLUMINATOR FOR INSPECTION
摘要
申请公布号 JPH09306963(A) 申请公布日期 1997.11.28
申请号 JP19960118689 申请日期 1996.05.14
申请人 SHINKO ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YODA YASUSHI
分类号 H01L21/66;H01L23/12;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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