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发明名称 ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH09306891(A) 申请公布日期 1997.11.28
申请号 JP19960140685 申请日期 1996.05.10
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 FUKAZAWA TAKAYUKI;SHIMIZU RYUKICHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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