| 发明名称 |
TRANSFER DEVICE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09304475(A) |
申请公布日期 |
1997.11.28 |
| 申请号 |
JP19960122993 |
申请日期 |
1996.05.17 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRON CORP |
发明人 |
MURAYAMA TSUGIO;TANAKA SHOICHI;TAMURA YOSHIKAZU;KAKIMOTO MASAHIRO |
| 分类号 |
G01R31/26;(IPC1-7):G01R31/26 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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