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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09306910(A) 申请公布日期 1997.11.28
申请号 JP19960118882 申请日期 1996.05.14
申请人 FUJITSU LTD 发明人 EGUCHI AKIRA
分类号 H01L21/66;H01L21/3205;H01L21/822;H01L23/52;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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