| 发明名称 |
STORAGE CHAMBER FOR CLEAN MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09303838(A) |
申请公布日期 |
1997.11.28 |
| 申请号 |
JP19960140767 |
申请日期 |
1996.05.10 |
| 申请人 |
TAKASAGO THERMAL ENG CO LTD |
发明人 |
SAKATA SOICHIRO;TAKAHASHI HIDETO;SATO KATSUMI |
| 分类号 |
G01N27/04;F24F3/16;F24F7/06;(IPC1-7):F24F7/06 |
主分类号 |
G01N27/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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