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发明名称 WIRING FORMATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09306993(A) 申请公布日期 1997.11.28
申请号 JP19960353935 申请日期 1996.12.19
申请人 L JII SEMICON CO LTD 发明人 YON GON ZON
分类号 H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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