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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR DETECTION-PROCESSING OF FLAW
摘要
申请公布号 JPH09304286(A) 申请公布日期 1997.11.28
申请号 JP19960125480 申请日期 1996.05.21
申请人 CANON INC 发明人 OKABE MASAHARU
分类号 G01N21/88;G01N21/952;G03G21/00;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
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