| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR TREATMENT AND ITS IMPROVEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09306801(A) |
申请公布日期 |
1997.11.28 |
| 申请号 |
JP19960359605 |
申请日期 |
1996.12.18 |
| 申请人 |
TEXAS INSTR INC (TI) |
发明人 |
AUJINO RUIGI;KANGIANO AGOSUTEINO |
| 分类号 |
H01L21/027;G03F9/00;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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