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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09306985(A) 申请公布日期 1997.11.28
申请号 JP19960124392 申请日期 1996.05.20
申请人 SONY CORP 发明人 TSUCHIYA YOSHIKO
分类号 H05H1/46;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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