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发明名称 OPTICAL ENCODER
摘要
申请公布号 JPH09304112(A) 申请公布日期 1997.11.28
申请号 JP19960123248 申请日期 1996.05.17
申请人 MITSUTOYO CORP 发明人 MATSUURA TATSUHIKO
分类号 G01D5/36;H01L27/146;H01L31/10;(IPC1-7):G01D5/36 主分类号 G01D5/36
代理机构 代理人
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