APPARATUS AND METHOD FOR SIMULATING SEMICONDUCTOR,申请号JP19960121185-传众专利搜索

发明名称	APPARATUS AND METHOD FOR SIMULATING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号	JPH09306967(A)	申请公布日期	1997.11.28
申请号	JP19960121185	申请日期	1996.05.16
申请人	RICOH CO LTD	发明人	AGARI HIDEKI
分类号	G01R31/28;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/66;H01L21/8234;H01L27/06;H01L29/00;(IPC1-7):H01L21/66;H01L21/823	主分类号	G01R31/28
代理机构		代理人
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