OPTIMUM EMISSION SPECTRUM AUTOMATIC DETECTING SYSTEM,申请号JP19960148409-传众专利搜索

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发明名称	OPTIMUM EMISSION SPECTRUM AUTOMATIC DETECTING SYSTEM
摘要
申请公布号	JPH09306894(A)	申请公布日期	1997.11.28
申请号	JP19960148409	申请日期	1996.05.17
申请人	SONY CORP	发明人	NIIFUKU SATORU
分类号	H05H1/46;C23C16/50;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306	主分类号	H05H1/46
代理机构		代理人
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