发明名称 MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09306951(A) 申请公布日期 1997.11.28
申请号 JP19960306461 申请日期 1996.11.18
申请人 FUJI XEROX CO LTD 发明人 MURAKAMI HIRONORI
分类号 H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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