发明名称 PRODUCTION DES FILMS MINCES DE TITANATE DE STRONTIUM.
摘要
申请公布号 FR2684234(B1) 申请公布日期 1997.11.28
申请号 FR19920013979 申请日期 1992.11.20
申请人 MURATA MANUFACTURING CO LTD 发明人 ABE YOSHIO;HAMAJI YUKIO;SAKABE YUKIO
分类号 H01L21/314;C01G23/00;C23C18/12;H01B3/00;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/368;C23C18/54 主分类号 H01L21/314
代理机构 代理人
主权项
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