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发明名称 FOCUSED ION BEAM WORKING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09306411(A) 申请公布日期 1997.11.28
申请号 JP19960124979 申请日期 1996.05.20
申请人 JEOL LTD 发明人 SAKAGUCHI KIYOSHI
分类号 G01N1/28;G01N1/32;H01J37/20;H01J37/30;(IPC1-7):H01J37/30 主分类号 G01N1/28
代理机构 代理人
主权项
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