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发明名称 Doppelt ausgelöstes Integrationsschema für Elektronenstrahltester
摘要
申请公布号 DE69220622(T2) 申请公布日期 1997.11.27
申请号 DE19926020622T 申请日期 1992.05.20
申请人 SCHLUMBERGER TECHNOLOGIES INC., SAN JOSE, CALIF., US 发明人 TAKAHASHI, HITOSHI, MACHIDA CITY, TOKYO, JP;MASNAGHETTI, DOUGLAS, SAN JOSE, CALIFORNIA 95115, JP;RICHARDSON, NEIL, STAMFORD, CONNECTICUT 06902, JP
分类号 G01N23/225;G01R31/302;G01R31/305;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/307 主分类号 G01N23/225
代理机构 代理人
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