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发明名称 DEVICE FOR CLEANING ARC EVAPORATOR PLASMA FROM MICROPARTICLES (OPTIONS)
摘要
申请公布号 RU2097868(C1) 申请公布日期 1997.11.27
申请号 RU19960114657 申请日期 1996.07.09
申请人 NAUCHNO-ISSLEDOVATELSKIJ INSTITUT YADERNOJ FIZIKI PRI TOMSKOM POLITEKHNICHESKOM UNIVERSITETE 发明人 RYABCHIKOV ALEKSANDR I;STEPANOV IGOR B
分类号 H01J3/40;H01J29/84;H01J37/07;(IPC1-7):H01J3/40 主分类号 H01J3/40
代理机构 代理人
主权项
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