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发明名称 Verfahren zur Herstellung monolithisch integrierter, multifunktionaler Schaltungen
摘要
申请公布号 DE3813836(C2) 申请公布日期 1997.11.27
申请号 DE19883813836 申请日期 1988.04.23
申请人 DAIMLER-BENZ AKTIENGESELLSCHAFT, 70567 STUTTGART, DE 发明人 KASPER, ERICH, DR., 89284 PFAFFENHOFEN, DE;KUISL, MAX, DR., 89079 ULM, DE;KOENIG, ULF, DR., 89075 ULM, DE;LUY, JOHANN-FRIEDRICH, 89077 ULM, DE
分类号 H01L21/285;H01L21/768;H01L21/822;H01L23/532;H01L23/64;(IPC1-7):H01L21/71;H01L21/31 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
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