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发明名称 Verfahren zum Herstellen eines Substrats für supraleitende Mikrowellen-Komponenten
摘要
申请公布号 DE69218665(T2) 申请公布日期 1997.11.27
申请号 DE19926018665T 申请日期 1992.05.20
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD., OSAKA, JP 发明人 MATSUURA, TAKASHI, C/O ITAMI WORKS OF SUMITOM, ITAMI-SHI, HYOGO, JP;HIGAKI, KENJIRO, C/O ITAMI WORKS OF SUMITOM, ITAMI-SHI, HYOGO, JP;ITOZAKI, HIDEO, C/O ITAMI WORKS OF SUMITOMO, ITAMI-SHI, HYOGO, JP
分类号 C04B41/80;C01G1/00;C04B41/87;C23C14/58;H01L39/24;H01P11/00;H05K1/09;H05K3/16;(IPC1-7):H01L39/24;H01L39/14 主分类号 C04B41/80
代理机构 代理人
主权项
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