发明名称 Drei-dimensionale Interferometerstruktur mit Abtastung durch Brechungselemente
摘要
申请公布号 DE69220261(T2) 申请公布日期 1997.11.27
申请号 DE19926020261T 申请日期 1992.02.28
申请人 ANALECT INSTRUMENTS INC., IRVINE, CALIF., US 发明人 PONCE, FRED H., C/O RESEARCH-COTTRELL, IRVINE, CALIFORNIA 92718, US;PAREJA, CARLOS H., C/O RESEARCH-COTTRELL, IRVINE, CALIFORNIA 92718, US;VIDRINE, WARREN D., C/O RESEARCH-COTTRELL, IRVINE, CALIFORNIA 92718, US
分类号 G01B9/02;G01J3/45;G01J3/453;(IPC1-7):G01J3/453 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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