申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS SILICON CORP., TOKIO/TOKYO, JP;MITSUBISHI MATERIALS CORP., TOKIO/TOKYO, JP |
发明人 |
YAMAZAKI, MASAKAZU, TOKIO/TOKYO, JP;YANABA, MICHIO, TOKIO/TOKYO, JP;TAGUCHI, HIROAKI, TOKIO/TOKYO, JP;ATAMI, TAKASHI, TOKIO/TOKYO, JP;FURUYA, HISASHI, TOKIO/TOKYO, JP |