| 发明名称 |
Process for increasing the lateral under cutting of a patterned layer |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0691677(A3) |
申请公布日期 |
1997.11.26 |
| 申请号 |
EP19950108812 |
申请日期 |
1995.06.08 |
| 申请人 |
ANT NACHRICHTENTECHNIK GMBH |
发明人 |
WARTH, MARTIN |
| 分类号 |
G01P15/08;(IPC1-7):H01L21/306;G01L9/00 |
主分类号 |
G01P15/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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