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发明名称 VAPOR PHASE EPITAXIAL GROWTH SYSTEM
摘要
申请公布号 KR0109660(Y1) 申请公布日期 1997.11.26
申请号 KR19940007563U 申请日期 1994.04.12
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 SHIN, CHAN-SOO;SHIN, CHOOL-HO;AHN, YONG-KOOK
分类号 H01L21/205;H01L21/48;(IPC1-7):H01L21/48 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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