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发明名称
摘要
申请公布号 JP2682479(B2) 申请公布日期 1997.11.26
申请号 JP19940322659 申请日期 1994.12.26
申请人 发明人
分类号 C23F1/12;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F4/00;H01L21/306 主分类号 C23F1/12
代理机构 代理人
主权项
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