发明名称 SURFACE TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09299786(A) 申请公布日期 1997.11.25
申请号 JP19960123469 申请日期 1996.05.17
申请人 KOMATSU LTD 发明人 TSURUMAKI NAOYA
分类号 H05H1/46;B01J19/08;C23C16/50;C23F4/00;H01L21/02;(IPC1-7):B01J19/08 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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